孟津区市场监督管理局（知识产权局）运营机构：洛阳公信知识产权事务所（普通合伙）
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发布时间：2024年4月24日浏览人数：92信息来源：孟津区知识产权公共服务平台
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精品专利
● 专利号
CN202210056516.2
● 专利权人
河南科技大学
● 授权日期 2024-01-19 ● 意向交易方式 专利权转让、专利实施许可、技术开发等 ● 摘要 本发明涉及一种纳米晶体钼合金靶材及其制备方法，所述的钼合金靶材包括钼基和少量的二次相掺杂物，二次相掺杂物至少包括氧化铝、氧化锆、氧化镧中的一种，且二次相掺杂物的添加量不大于10％。本发明通过水热法制备原始纳米粉体，通过等静压低温快速烧结制得晶粒细小的高致密坯料，进一步通过超声表面滚压技术有效去除靶材表面残余的加工痕迹，降低材料表面的粗糙度。本发明制备的纳米晶体钼合金靶材不仅其基体晶粒尺寸较小，界面密度高，而且表面具有超细晶组织，兼具更高的显微硬度、更低的表面粗糙度以及良好的耐磨性能，可满足高要求溅射镀膜的需求。 ● 意向交易金额 面议
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