发布时间:2023年10月07日浏览人数:84信息来源:孟津区知识产权公共服务平台
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精品专利
● 专利号
CN201810208886.7
● 专利权人
河南科技大学
● 授权日期
2020-02-25
● 意向交易方式
专利权转让、专利实施许可、技术开发等
● 摘要
一种微电子用泡沫金属的制备方法,以聚氨酯泡沫为骨架,在聚氨酯泡沫上采用磁控溅射工艺制备Ni‑Al‑Ni三层结构复合膜,其中,聚氨酯泡沫骨架上Ni‑Al‑Ni三层结构复合膜的厚度为20~30μm。本发明采用磁控溅射方式制备高纯度的金属膜,即Ni‑Al‑Ni三层结构复合膜,包括膜层、骨架与气孔三部分,提高了泡沫金属的柔韧性。
● 意向交易金额
面议