孟津区市场监督管理局（知识产权局）运营机构：洛阳公信知识产权事务所（普通合伙）
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发布时间：2023年11月16日浏览人数：64信息来源：孟津区知识产权公共服务平台
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精品专利
● 专利号
CN201811502630.3 ● 专利权人
河南科技大学
● 授权日期 2021-05-14 ● 意向交易方式 专利权转让、专利实施许可、技术开发等 ● 摘要 本发明涉及一种掺杂TiO2阻挡层薄膜及其制备方法，属于半导体光电材料技术领域。本发明的掺杂TiO2阻挡层薄膜的制备方法，包括以下步骤：1)通过物理气相沉积法在基底上制备钛合金薄膜，然后将制得的钛合金薄膜在有氧气氛中进行热氧化反应；2)将步骤1)中热氧化反应后的薄膜在80～100℃的四氯化钛溶液中进行浸泡，即得。本发明的掺杂TiO2阻挡层薄膜的制备方法，制得的掺杂TiO2阻挡层薄膜均匀无裂缝，大大降低了薄膜的孔隙率，并使薄膜与基底结合更加牢固。本发明的制备方法，成熟易操作，工艺稳定性好，成膜质量高，成本低廉，具备良好的推广应用基础。 ● 意向交易金额 面议
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