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专利推介:一种掺杂类石墨碳膜及其制备方法、工件

发布时间:2023年12月21日浏览人数:65信息来源:孟津区知识产权公共服务平台

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精品专利

● 专利号

CN201910980090.8

● 专利权人

河南科技大学

● 授权日期

2022-09-09

● 意向交易方式

专利权转让、专利实施许可、技术开发等

● 摘要      

     本发明属于表面工程技术领域,具体涉及一种掺杂类石墨碳膜及其制备方法、工件。本发明的掺杂类石墨碳膜由类石墨碳膜和掺杂元素组成,所述掺杂元素镧元素和钛元素;所述掺杂类石墨碳膜中镧元素的质量百分比为6.5~14%,钛元素的质量百分比为2~17%。本发明通过磁控溅射方法向类石墨碳膜中引入金属元素镧和钛形成掺杂类石墨碳膜,消除了成膜粒子在快速扩散时形成的空洞,使类石墨碳膜的力学性能得到增强,继而表现出优异的耐磨损性能。

● 意向交易金额

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